Новая страница 1

Термоанемометры

Современные расходомеры имеют термоанемометрические измерители расхода газа. Работают они следующим образом: в потоке газа находится теплообменный элемент в виде тонкой (диаметр примерно 0,07 мм) платиновой проволочки. Увеличение потока воздуха приводит к возрастанию электрической энергии для поддержания заданной разницы температур между проволокой и обтекающим ее воздухом.

Количество тепла, уносимого газовым потоком, зависит от физических характеристик движущейся среды, геометрии и ориентации проволочки. Известно, что повышение температуры проволоки и увеличение площади соприкосновения нагревательного элемента с газом, повышает чувствительность термоанемометров.

В самых современных расходомерах используются термоанемометры с пленочными нагревателями. У них нагревательные и измерительные резисторы выполнены в виде тонких платиновых слоев, напыленных на поверхность кристалла кремния.

Использование планарных тонкопленочных датчиков созданных по TAF-технологии имеющих тонкопленочный нагреватель, позволяет значительно повысить чувствительность термоанемометров. Это особенно важно при измерении малых скоростей газовых потоков. Важной особенностью предлагаемых здесь изделий является то, что при измерении малых скоростей потоков, не требуется уменьшать поперечное сечение газовой магистрали.

Ниже представлены результаты полученные при измерении скорости воздушного потока.