Главная

Полупроводниковые сенсоры.

Нами разработан комплекс технологических операций, который позволяет производить чувствительные элементы для быстродействующих газовых датчиков полупроводникового типа.

TAF-сенсоры отличаются низким энергопотреблением при сохранении высокой чувствительности, надежности и долговечности. Использование их в соответствующих электронных устройствах, позволяет поддерживать температуру каталитических слоев на заданном уровне с высокой точностью, что позволяет избежать такого неприятного явления, как автокатализ. Наши сенсоры остаются работоспособными даже после воздействия на них высоких концентраций детектируемого газа.

TAF-сенсоры, в процессе эксплуатации, могут испытывать значительные нагрузки. Испытания микронагревателей газовых датчиков показали их хорошую стабильность, при работе в режимах, как постоянного, так и импульсного нагрева.

Полупроводниковые TAF-сенсоры позволяют изготавливать надежные, быстродействующие, экономичные и недорогие газоанализаторы. Приборы изготовленные на их основе могут измерять концентрации не только горючих газов и паров (метана, пропана, бутана водорода, тяжелых углеводородов, спирта, паров растворителей), но и многие другие токсичные газы (аммиак, сероводород и др.) .

Изготовленные малыми партиями, наши датчики успешно проходят испытания в ряде исследовательских центров у нас в стране и за рубежом.

Основные характеристики пленочных измерительных элементов.

Ниже представлены основные характеристики полупроводникового TAF-сенсора в сравнении с их ближайшими аналогами TGS 2611 и TGS 842 фирмы Фигаро (Япония).

	TAF-сенсор	TGS 2611	TGS 842
Потребляемая мощность при 450°С, мВт.	< 65	> 280	835 (typical)
Толщина подложки, мкм	10 - 50
Время теплового отклика нагревателя, мс	50
Сопротивление нагревателя при комнатной температуре, Ом	10 - 30	59	30,0 ± 3,0
Дрейф параметров нагревателя, % в год.	< 2
Ресурс нагревателя при импульсных измерениях (20®450®20°C).	Не менее - 5×10⁶ циклов
Размеры чипа, мм²	6 х 6
Размеры горячей зоны, мкм²	300 х 300
Материал нагревателя	Pt
Диапазон измерения концентрации анализируемого газа, %	0.005 - 2.5 метан, пропан	0,005 - 1,0 метан, пропан	0,005 - 1,0 метан, пропан