Главная

Тонкопленочные микронагреватели.

Основным элементом газовых датчиков является пленочный микронагреватель, изготовленный на керамическом TAF-основании.

Изначально изготавливается керамическое основание, на котором будут в дальнейшем формироваться датчики. Над отверстиями в керамической пластине располагается тонкая поликристаллическая мембрана из оксида алюминия толщиной 10-50 мкм изготовленная с применением TAF-технологии. В массивной части основание имеет толщину 0,65 мм, на котором сделаны специальные пропилы и отверстия. Материал основания – радиотехническая керамика BK-96.
Керамическая мембрана крепится к основанию специальным высокотемпературным клеем. Свойства всех применяемых материалов (основы, клея и пленки) подобраны таким образом, чтобы их КТРы (Коэффициенты Термического Расширения) отличались менее, чем на 10%. Данная конструкция обеспечивает возможность многократного технологического нагрева до 850°С.

На керамическое основание, с помощью методов вакуумного напыления, наносится рисунок нагревателя и необходимых дополнительных элементов (компенсационные сопротивления, токоподводы, контактные площадки). Как правило, в качестве напыляемого материала используется платина.

Готовая матрица разламывается на отдельные заготовки (чипы), которые являются основой для чувствительных элементов газовых датчиков.
Из подложки размером 48х60 мм может получиться до 75 чипов размером 6х6 мм. Микронагреватели изготовленные таким способом являются отличной основой для изготовления быстродействующих, надежных и экономичных газовых сенсоров, микроболлометров и термоанемометров.