Главная
Техника
Технические проблемы
Микронагреватели
Полупроводниковые сенсоры.
Термокаталитические сенсоры.
Термоанемометры
Газовый стенд
Сотрудники
Литература
Наши
партнеры
Новости
Контакты |
Термокаталитические
датчики.
Нами разработан комплекс
технологических операций позволяющий производить чувствительные элементы для
быстродействующих газовых датчиков термокаталитического типа.
TAF-сенсоры
отличаются
низким энергопотреблением при сохранении высокой
чувствительности, надежности и долговечности. Использование их в
соответствующих электронных устройствах, позволяет поддерживать
температуру каталитических слоев на заданном уровне с высокой
точностью, что позволяет избежать такого неприятного явления,
как автокатализ. Наши сенсоры остаются работоспособными даже
после воздействия на них высоких концентраций детектируемого
газа.
|
 |
TAF-сенсоры,
в
процессе эксплуатации, могут испытывать значительные нагрузки.
Испытания микронагревателей газовых датчиков показали их хорошую
стабильность и надежность при работе в режимах, как постоянного, так
и импульсного
нагрева.
Термокаталитические
TAF-сенсоры
позволяют изготавливать надежные, быстродействующие, экономичные
и недорогие газоанализаторы. Приборы изготовленные на их основе
могут измерять концентрации: не только горючих газов (метана,
пропана, бутана, водорода и др.), но и пары органических
растворителей
(спирты, кетоны, альдегиды и др.).
Изготовленные малыми партиями, наши датчики
успешно проходят испытания в ряде исследовательских центров у
нас в стране и за рубежом.
|
Основные
характеристики термокаталитического
TAF-сенсора
|
TAF-сенсор
(термокаталитический) |
Потребляемая
мощность при 450°С, мВт. |
70 |
Толщина
подложки,
мкм |
10 - 50 |
Время
теплового отклика нагревателя, мс |
50 |
Сопротивление нагревателя при комнатной температуре, Ом |
30 - 70 |
Дрейф
параметров нагревателя, % в год. |
< 2 |
Ресурс
нагревателя при импульсных измерениях (20®450®20°C). |
Не менее -
5×106 циклов |
Размеры
чипа, мм2 |
6 х 6 |
Размеры
горячей зоны, мкм2 |
300 х 300 |
Материал
нагревателя |
Pt |
Диапазон измерения концентрации анализируемого
газа, % |
0,1 - 2
горючие газы и пары |
|