Чувствительные слои работают при высоких температурах (250 - 450°С и выше), а контактные площадки находятся при комнатной температуре. При этом все эти элементы необходимо разместить на небольшой площадке чувствительного элемента (чипа).

Необходимо обеспечить минимальное энергопотребление чувствительного элемента.

Адгезия материала нагревателя и чувствительных слоев к подложке при работе сенсора должны быть максимально высокими. Коэффициенты линейного расширения всех материалов используемых в сенсоре должны быть согласованы друг с другом.

Высокая стабильность характеристик нагревателей и чувствительных слоев при длительной эксплуатации сенсора является необходимым условием работы сенсора. Время непрерывной работы сенсоров составляет годы.

Высокая технологичность изготовления датчиков обеспечивает снижение себестоимости, уменьшения объемов ручного труда при одновременном обеспечении высокого качества конечного продукта.